啟迪培育的“光刻機第一股”華卓精科過會，與清華共享專利打印
發布時間：2021-09-18來源：啟迪之星
項目：華卓精科
星跡：
l2012年，入駐清華科技園啟迪之星
l2015年，榮獲清華科技園鉆石企業
l2016年，獲國家高新企業資質認定
l2017年，完成首次股權激勵計劃
l2019年，獲北京市科學技術獎一等獎
l2020年，上榜北京“專精特新”中小企業名單
近日，啟迪之星培育企業——北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科“）于科創板成功過會。本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元。
華卓精科長期專注于納米級超精密測控技術，是國內領先的集成電路制造裝備及其核心部件、精密/超精密運動系統及相關技術供應商。公司以光刻機雙工件臺這一超精密機械領域的尖端產品為核心，并以該產品的超精密測控技術為基礎，開發了晶圓級鍵合設備、激光退火設備等整機產品，以及精密運動系統、隔振器和靜電卡盤等部件衍生產品，應用領域覆蓋集成電路制造、超精密制造、光學、醫療、3C制造等行業。
華卓精科成立于2012年，以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務，其中超精密測控設備部件產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器等，整機產品包括晶圓級鍵合設備、激光退火設備等。應用領域覆蓋集成電路制造、超精密制造、光學、醫療、3C制造等行業。
股權結構方面，朱煜為華卓精科董事、核心技術人員、首席科學家，朱煜實際控制公司股份合計54.23%。朱煜為華卓精科控股股東、實際控制人。1965年出生的朱煜2001年畢業于中國礦業大學，博士學歷；2004年10月至今任清華大學教授。曾在北方華創獨董，目前兼任芯源微獨董等職務。
雖然被譽為A股“光刻機第一股”，但華卓精科并不能直接生產光刻機整機，其主要產品為光刻機雙工件臺、超精密測控裝備及關鍵零部件等，而工件臺、投影物鏡和光源是光刻機的三大核心子系統，其中工件臺成本占到整個光刻機成本的10%-20%。
業績方面，2018年-2020年，華卓精科營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元；凈利潤分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。華卓精科表示，報告期內，公司的晶圓級鍵合設備、激光退火設備和光刻機雙工件臺處于產品商業化初期，客戶相對較少，尚未形成規模化產品銷售，導致公司整體銷售規模較小，銷售結構尚未穩定，存在較大的變動。
沖刺科創板之前，華卓精科曾于2015年在新三板掛牌，并于2019年2月摘牌。華卓精科本次擬募集資金約7.35億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發制造項目、超精密測控產品長三角創新與研發中心建設、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發項目等。
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